不同標準對高效過濾器檢漏的方法是不同的，它直接會體現(xiàn)到高效過濾器的完整性上面。如果是用于非終滅菌無菌注射劑的，還將影響到成品的無菌保障。但對于不同的劑型和要求，我們可以選用不同的檢測方法。既滿足風險控制的實際需求，又能夠節(jié)省運行過程的成本。

1.運用文件

1.1美國環(huán)境科學技術(shù)協(xié)會（IEST）

IEST-RP-CC034HEPA與ULPA過濾器檢漏試驗

1.2國際標準化組織（ISO）

ISO-14644-3計量和測試方法

1.3歐洲標準（EN）E

N1882-4過濾器滲漏的檢測（掃描法）

1.4中國國家標準（GB）

GB51110-2015潔凈廠房施工及質(zhì)量驗收規(guī)范

2.不同方法的標準對比

不同標準方法規(guī)定的掃描泄漏率基本都是≤0.01%，但實際上它們之間的完整性是存在明顯差異的。只有用EN1822標準檢測的過濾器才能夠標識為H××或者U××，IEST-RPCC034標準有自己A、B、C……劃分等級的指標。

注：1、粒子計數(shù)器只能夠檢測到一個粒徑的氣溶膠粒子

2、光度計能夠檢測到所有粒徑的氣溶膠粒子

3.氣溶膠粒徑的討論

在高效過濾器安裝后的現(xiàn)場檢測，實際上是不可能使用MPPS方法的，只能夠使用粒徑比較接近MPPS粒徑的氣溶膠來檢漏。而且對于多分散的氣溶膠，還要注意它使用的是幾何平均粒徑還是質(zhì)量平均粒徑。目前比較常用氣溶膠和其粒徑的范圍如下表所示。

從上表中的數(shù)據(jù)可以看出，采用PSL單分散氣溶膠中一款比較接近MPPS粒徑的，其檢測結(jié)果的完整性可靠。但PSL氣溶膠在藥廠和FDA的相關(guān)規(guī)范中沒有更多的應(yīng)用描述，缺少相關(guān)的數(shù)據(jù)來證明之后不會對產(chǎn)品造成污染。所以一般還是采用DEHS或者PAO氣溶膠來進行現(xiàn)場的檢漏試驗。

高效過濾器本體在進入現(xiàn)場前，生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進行性能試驗檢測（如DOP試驗等），并提供合格證（含性能試驗結(jié)果）對于5級（100級）以上潔凈室用高效過濾器、超高效過濾器在現(xiàn)場應(yīng)再次進行高效過濾器本體的性能檢測。同時也要為確認高效過濾器的正確安裝狀態(tài)進行泄漏試驗。而在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的超潔凈技術(shù)中（如0.1μm，1級），由于新風量往往僅是循環(huán)風量的百分之幾，經(jīng)過稀釋上風側(cè)也變成6級（1000級）的程度，因此，在這種情況下，就必須重新考慮采用DOP檢漏試驗。

一、檢測要求

①一般采用粒子計數(shù)器法進行檢漏，被檢高效過濾器必須已檢測過風量，并在設(shè)計風速的80％～120％之間運行。

②對于被檢高效過濾器上風側(cè)的微粒濃度符合如下要求。

·對受控粒徑≥0.5μm的濃度，必須大于等于3.5×104pc/L；

·對受控粒徑≥0.1μm的濃度，必須大于等于3.5×106～3.5×107pc/L

二、檢測方法

采用掃描法對高效過濾器的安裝接頭和主段進行檢查.檢測點距被測表面20~30 mm，測量頭以5~20 mm/s的速度移動，對待檢測的過濾器的全斷面、密封頭和安裝框架進行掃描。

三、檢測設(shè)備

1、光散射粒子計數(shù)器，其工作原理是利用空氣中粒子的散射現(xiàn)象發(fā)光，將采樣空氣中粒子的光脈沖信號轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電脈沖信號來確定粒子數(shù)，利用粒子的光散射強度與粒子大小平方的關(guān)系來測量粒子大小。儀器一般由氣路系統(tǒng)、光學系統(tǒng)、電路系統(tǒng)和電源等部分組成。國產(chǎn)的Y09等系列粒子計數(shù)器，進口的Royco–；245粒子計數(shù)器均屬于此類粒子計數(shù)器

2、激光粒子計數(shù)器，其工作原理與光散射粒子計數(shù)器基本相同，但由于使用了比光散射粒子計數(shù)器強100倍的He-Ne激光源，粒子大小的探測范圍為0.1M。